Nisbatan kichik toza xona maydoni va qaytariladigan havo kanalining cheklangan radiusi bo'lgan mikro-elektron ustaxona konditsioner tizimining ikkilamchi qaytib havo sxemasini qabul qilish uchun ishlatiladi. Ushbu sxema ham tez-tez ishlatiladitoza xonalarfarmatsevtika va tibbiy yordam kabi boshqa sohalarda. Toza xona harorati namligi talablariga javob beradigan shamollatish hajmi odatda tozalik darajasiga erishish uchun zarur bo'lgan shamollatish hajmidan ancha past bo'lganligi sababli, etkazib berish havosi va qaytib keladigan havo o'rtasidagi harorat farqi kichik. Agar birlamchi qaytariladigan havo sxemasidan foydalanilsa, etkazib berish havosi holati nuqtasi va konditsionerning shudring nuqtasi o'rtasidagi harorat farqi katta bo'lsa, ikkilamchi isitish kerak bo'ladi, buning natijasida havoni tozalash jarayonida sovuq issiqlik o'zgaradi va ko'proq energiya sarflanadi. . Ikkilamchi qaytib havo sxemasi ishlatilsa, ikkilamchi qaytib havo asosiy qaytib havo sxemasining ikkilamchi isitilishini almashtirish uchun ishlatilishi mumkin. Birlamchi va ikkilamchi qaytib keladigan havo nisbatlarini sozlash ikkilamchi issiqlikni sozlashdan biroz kamroq sezgir bo'lsa-da, ikkilamchi qaytib keladigan havo sxemasi kichik va o'rta o'lchamdagi mikroelektron toza ustaxonalarda konditsioner energiyani tejash chorasi sifatida keng e'tirof etilgan. .
Misol tariqasida ISO 6-sinf mikroelektronika toza ustaxonasini olaylik, toza ustaxona maydoni 1000 m2, shift balandligi 3 m. Ichki dizayn parametrlari harorat tn= (23±1) ℃, nisbiy namlik phn=50%±5%; Loyihaviy havo etkazib berish hajmi 171 000 m3 / soat, taxminan 57 soat-1 havo almashinuvi vaqti va toza havo hajmi 25 500 m3 / soat (shundan texnologik chiqindi havo hajmi 21 000 m3 / soat, qolganlari esa musbat bosim oqish havo hajmi). Toza ustaxonadagi sezgir issiqlik yuki 258 kVt (258 Vt/m2), konditsionerning issiqlik/namlik nisbati e = 35 000 kJ/kg, xonaning qaytish havosining harorat farqi esa 4,5 ℃. Bu vaqtda, birlamchi qaytish havo hajmi
Bu hozirgi vaqtda mikroelektronika sanoati toza xonada tozalash konditsioner tizimining eng ko'p qo'llaniladigan shakli bo'lib, bu turdagi tizimni asosan uch turga bo'lish mumkin: AHU + FFU; MAU+AHU+FFU; MAU+DC (quruq lasan) +FFU. Har birining afzalliklari va kamchiliklari va mos joylari bor, energiya tejash effekti asosan filtr va fan va boshqa jihozlarning ishlashiga bog'liq.
1) AHU+FFU tizimi.
Ushbu turdagi tizim rejimi mikroelektronika sanoatida "konditsionerlik va tozalash bosqichini ajratish usuli" sifatida qo'llaniladi. Ikkita holat bo'lishi mumkin: biri shundaki, konditsioner tizimi faqat toza havo bilan ishlaydi va tozalangan toza havo toza xonaning barcha issiqlik va namlik yukini ko'taradi va chiqindi havo va musbat bosimning oqishini muvozanatlash uchun qo'shimcha havo vazifasini bajaradi. toza xonadan, bu tizim MAU+FFU tizimi deb ham ataladi; Ikkinchisi shundaki, toza havo hajmining o'zi toza xonaning sovuq va issiqlik yuk ehtiyojlarini qondirish uchun etarli emas yoki toza havo tashqi holatdan shudring nuqtasiga ishlov berilganligi sababli kerakli mashinaning o'ziga xos entalpiyasi farqi juda katta. , va ichki havoning bir qismi (qaytib keladigan havoga teng) konditsionerni tozalash moslamasiga qaytariladi, issiqlik va namlik bilan ishlov berish uchun toza havo bilan aralashtiriladi va keyin havo ta'minoti plenumiga yuboriladi. Qolgan toza xonaga qaytish havosi (ikkilamchi qaytib keladigan havoga teng) bilan aralashtirib, u FFU birligiga kiradi va keyin uni toza xonaga yuboradi. 1992 yildan 1994 yilgacha ushbu maqolaning ikkinchi muallifi Singapur kompaniyasi bilan hamkorlik qildi va 10 dan ortiq aspirantlarni AQSh-Gonkong qo'shma korxonasi SAE Electronics Factory konditsionerini tozalashning oxirgi turini o'zlashtirgan loyihalashda ishtirok etdi. shamollatish tizimi. Loyihada taxminan 6000 m2 (shundan 1500 m2 Yaponiya Atmosfera Agentligi tomonidan shartnoma tuzilgan) bo'lgan ISO 5-sinfidagi toza xona mavjud. Konditsioner xonasi tashqi devor bo'ylab toza xona tomoniga parallel ravishda va faqat koridorga ulashgan. Toza havo, chiqindi havo va qaytib havo quvurlari qisqa va silliq joylashtirilgan.
2) MAU+AHU+FFU sxemasi.
Ushbu yechim odatda bir nechta harorat va namlik talablari va issiqlik va namlik yukida katta farqlarga ega bo'lgan mikroelektronika zavodlarida topiladi va tozalik darajasi ham yuqori. Yozda toza havo sovutiladi va belgilangan parametr nuqtasiga namlanadi. Odatda toza havoni izometrik entalpiya chizig'ining kesishish nuqtasiga va 95% nisbiy namlik chizig'iga mos keladigan harorat va namlik bo'lgan toza xonaga yoki eng katta toza havo hajmiga ega toza xonaga ishlov berish maqsadga muvofiqdir. MAU havo hajmi havoni to'ldirish uchun har bir toza xonaning ehtiyojlariga qarab belgilanadi va har bir toza xonaning AHUga kerakli toza havo hajmiga muvofiq quvurlar bilan taqsimlanadi va issiqlik uchun bir oz ichki qaytib havo bilan aralashtiriladi. va namlik bilan ishlov berish. Bu birlik barcha issiqlik va namlik yukini va u xizmat ko'rsatadigan toza xonaning yangi revmatizm yukining bir qismini ko'taradi. Har bir AHU tomonidan ishlov berilgan havo har bir toza xonadagi ta'minot havosi plenumiga yuboriladi va ichki qaytib keladigan havo bilan ikkilamchi aralashgandan so'ng, FFU birligi tomonidan xonaga yuboriladi.
MAU+AHU+FFU eritmasining asosiy afzalligi shundaki, u tozalik va ijobiy bosimni ta'minlashdan tashqari, har bir toza xona jarayonini ishlab chiqarish uchun zarur bo'lgan har xil harorat va nisbiy namlikni ta'minlaydi. Biroq, ko'pincha o'rnatilgan AHU soni tufayli xonaning maydoni katta bo'ladi, toza xona toza havo, qaytib keladigan havo, havo ta'minoti quvurlari kesishadi, katta joy egallaydi, tartib yanada muammoli, texnik xizmat ko'rsatish va boshqarish qiyinroq. va murakkab, shuning uchun foydalanishdan qochish uchun iloji boricha maxsus talablar yo'q.
Xabar vaqti: 26-mart-2024-yil