Yarimo'tkazgichli (FAB) toza xonada nisbiy namlikning maqsadli qiymati

Yarimo'tkazgichli (FAB) toza xonada nisbiy namlikning maqsadli qiymati taxminan 30-50% ni tashkil qiladi, bu litografiya zonasi kabi ±1% tor xato chegarasiga imkon beradi - yoki uzoq ultrabinafsha nurlarini qayta ishlashda (DUV) undan ham kamroq. zona - boshqa joylarda esa ±5% gacha bo'shashishi mumkin.
Chunki nisbiy namlik toza xonalarning umumiy ish faoliyatini pasaytiradigan bir qator omillarga ega, jumladan:
1. Bakteriyalarning ko'payishi;
2. Xodimlar uchun xona haroratining qulaylik diapazoni;
3. Elektrostatik zaryad paydo bo'ladi;
4. Metall korroziyasi;
5. Suv bug'ining kondensatsiyasi;
6. Litografiyaning degradatsiyasi;
7. Suvni singdirish.

Bakteriyalar va boshqa biologik ifloslantiruvchi moddalar (mog'orlar, viruslar, zamburug'lar, oqadilar) nisbiy namligi 60% dan ortiq bo'lgan muhitda rivojlanishi mumkin. Ba'zi bakterial jamoalar 30% dan ortiq nisbiy namlikda o'sishi mumkin. Kompaniya namlikni 40% dan 60% gacha nazorat qilish kerak, deb hisoblaydi, bu bakteriyalar va respirator infektsiyalarning ta'sirini minimallashtirishi mumkin.

40% dan 60% gacha bo'lgan nisbiy namlik ham insonning qulayligi uchun mo''tadil diapazondir. Haddan tashqari namlik odamlarni havo bo'shlig'iga olib kelishi mumkin, 30% dan past namlik esa odamlarda quruq, yorilgan teri, nafas olishda noqulaylik va hissiy baxtsizlikni his qilishi mumkin.

Yuqori namlik, aslida, toza xona yuzasida elektrostatik zaryadlarning to'planishini kamaytiradi - kerakli natija. Kam namlik zaryad to'planishi va elektrostatik zaryadsizlanishning potentsial zarar manbai uchun idealdir. Nisbiy namlik 50% dan oshganda, elektrostatik zaryadlar tez tarqala boshlaydi, lekin nisbiy namlik 30% dan kam bo'lsa, ular izolyatorda yoki tuproqsiz sirtda uzoq vaqt turishi mumkin.

35% dan 40% gacha bo'lgan nisbiy namlik qoniqarli kelishuv sifatida ishlatilishi mumkin va yarimo'tkazgichli toza xonalar odatda elektrostatik zaryadlarning to'planishini cheklash uchun qo'shimcha boshqaruv vositalaridan foydalanadi.

Nisbiy namlikning oshishi bilan ko'plab kimyoviy reaktsiyalarning tezligi, shu jumladan korroziya jarayonlari ortadi. Toza xona atrofidagi havoga ta'sir qiladigan barcha sirtlar tez.